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熱式氣體質量流量控制器與其他類型的流量控制器在原理、應用、優缺點等方面存在一些差異。
熱式流量計基于熱擴散原理,使用兩只標準級的RTD,一只用于發熱,另一只用于測量流體溫度。當流體流動時,兩者之間的溫度差與流量的大小成線性關系,通過微電子控制技術轉換為測量流量信號的線性輸出。這種流量計的優點是可自動化集成度高、產品精度好、穩定性和重復性優于其他類型的流量控制器。實際使用中發現,當輸入的氣體不同時,控制顯示的數值與實際不符,原因在于氣體轉換系數(CF)的不同。
根據法拉第電磁感應定律進行流量測量。其優點是壓損極小,可測流量范圍大,精確度較高。但它不能測量氣體、蒸汽以及純凈水的流量。