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關于流量顯示儀、控制儀

2025-08-20 11:25:17

      流量顯示儀用于為氣體質量流量控制器(MFC)和質量流量計(MFM)提供工作電源、操作控制、流量設定和流量數字顯示等。

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                      單通道流量顯示儀                                       多通道流量顯示儀       

      目前市場上常見的流量顯示儀一般采用塑料機殼,體積較小,便于安裝。流量輸入輸出信號,一般是標準的 0~+5V 電壓信號或4~20mA的電流信號。

       有些流量顯示儀帶有流量設定和閥控功能,也叫流量顯示控制儀,這種顯示儀可與工作電源為±15V 的 或24VMFC(或MFM)配套使用。


1、 基準源和流量的設定


      以0~5V的電壓模擬信號為例,在顯示儀中設計有+5.00V 基準電源,它加載到設定電位器上,通過操作者手動調節面板上的設定電位器,提供 0~5.00V 的設定電壓輸出給MFC,用來控制 MFC 的流量。該電源設計有開機軟啟動電路,當顯示儀接通電源時,基準源緩慢從 0V 升至+5.00V.


2、數字顯示器 


       顯示器用來顯示流量,流量顯示的單位有“SCCM"、“SLM"、“%"三種。通常,流量顯示儀與 MFC(或 MFM)配套出廠時,將顯示器顯示的量值和單位與其對應的 MFC(或 MFM)通道的量值和單位調整成一致。如果用戶訂貨時沒有注明 MFC(或 MFM)的流量規格,則出廠調整為按滿量程的百分比顯示,它與任何規格的 MFC(或 MFM)配合使用時,滿量程均顯示“100.0%"。在流量顯示儀的面板上,設計有流量單位指示燈,SCCM  SLM,如果兩個均不亮,則表示單位為%。




3、閥控開關


       帶流量調節、流量控制功能的流量顯示儀會帶有閥控"開關。閥控開關有三個位置,正常工作時置于閥控"位,需要通氣吹洗管路時,可選擇清洗"位,停止使用時應置于關閉"位。


4、調零電位器


      面板上設計有外“調零"電位器,可以用來在小范圍內調整MFC(或MFM)產品的零點。


5、多通道流量顯示儀


     可以一臺顯示儀同時接3、4臺 質量流量控制器MFC 或 質量流量計MFM。