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4、質量流量控制器采用熱擴散原理,熱擴散技術是一種在苛刻條件下性能優良、可靠性高的技術。
5、質量流量控制器是利用熱傳導原理測量流體流量的儀表,質量流量控制器采用恒溫差法對氣體質量流量進行準確測量。質量流量控制器具有體積小,數字化程度高,安裝方便,測量準確等優點。
ACCU10FD數字型質量流量控制器/流量計由質量流量傳感器,層流分層件,流量控制器調節閥和放大控制電路等部件組成。它利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細管壁溫度分布的熱傳導分布效應而制成。
ACCU10FD數字型質量流量控制器/流量計采用毛細管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質量流量,不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進行放大,然后與設定的電壓進行比較,用所得的差值去驅動控制調節閥門,閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。