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氣體流量控制器在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用

2022-04-14 10:15:25

ACU10FD系列產(chǎn)品專門為半導(dǎo)體設(shè)備設(shè)計(jì)，其主要特點(diǎn)是產(chǎn)品穩(wěn)定性好、精度高、零漂小、響應(yīng)速度快。同時(shí)考慮到半導(dǎo)體設(shè)備對(duì)于顆粒和污染的高要求，產(chǎn)品所有與氣體接觸的表面均為金屬，同時(shí)所有與氣體接觸的金屬表面均進(jìn)行了嚴(yán)格的表面處理，并且所有產(chǎn)品均在潔凈環(huán)境中組裝、標(biāo)定。產(chǎn)品同時(shí)支持?jǐn)?shù)字、模擬電壓、模擬電流的信號(hào)輸入和輸出，支持MODBUS485/232等通訊協(xié)議，客戶可以根據(jù)自己的需要選擇使用。

同時(shí)ACU10FD系列產(chǎn)品重點(diǎn)考慮了產(chǎn)品的抗干擾能力，產(chǎn)品可以抵抗較強(qiáng)的電磁干擾。