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ACU20P
高精度壓力控制器（底部進(jìn)氣）
型號：ACU20P-LC
產(chǎn)品介紹
    ACU20P高精度壓力控制器采用底部進(jìn)氣設(shè)計(jì)，適用于安裝空間受限的應(yīng)用場景，可有效節(jié)省安裝布局空間。產(chǎn)品配備C型密封結(jié)構(gòu)，可實(shí)現(xiàn)高精度的壓力控制與長期穩(wěn)定性。
產(chǎn)品應(yīng)用

應(yīng)用領(lǐng)域：半導(dǎo)體生產(chǎn)、科研實(shí)驗(yàn)、生物醫(yī)藥、能源化工、泄漏測試、燃料電池、真空鍍膜及過程控制等。

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  • 一、產(chǎn)品概述


      ACU20P系列壓力控制器/壓力計(jì)為直通式設(shè)計(jì)，測量范圍從100KPa到10MPA（絕壓和表壓皆可）。此外，還提供差壓變送器。該系列儀表精確度高、重復(fù)性好，分為前壓控制和背壓控制兩種。

     ACU20P系列標(biāo)配一個(gè)壓力傳感器和數(shù)字電路板，提供高精度、快速穩(wěn)定、可靠的壓力控制，該P(yáng)C數(shù)字板具有控制壓力所需的所有功能。除了配備標(biāo)準(zhǔn)的RS485輸出信號，ACU20P還提供模擬量輸入/出信號，可通過調(diào)節(jié)設(shè)定值就能精準(zhǔn)的控制整個(gè)工藝過程。ACU20P系列壓力控制器可裝配一體式控制閥或分體式控制閥。它是一種比例式電磁控制閥，具有超快和平穩(wěn)控制的特性。



    二、產(chǎn)品應(yīng)用


    應(yīng)用領(lǐng)域：半導(dǎo)體工藝，氣相和液相色譜儀，MOCVD過程中蒸汽壓力控制，擠塑成型過程中氣體壓力保護(hù)控制，高壓釜/反應(yīng)釜壓力控制等。


    三、產(chǎn)品參數(shù)


    技術(shù)參數(shù) 精度(包括線性和滯后性) ±0.5%F.S
    壓力控制器 1:50
    重復(fù)精度 ±0.2%F.S
    傳感器響應(yīng)時(shí)間 0.2s
    控制穩(wěn)定性 ≤±0.05%F.S(測定條件：1 L/min N2)
    運(yùn)行溫度 5~50℃（精度保證溫度范圍15~40℃）
    溫度敏感性 0.1%FS/℃
    漏率 1×10-9 SCCS He
    方位影響度
    （90°變化）     		＜0.03 KPa（絕壓/表壓傳感器）
    ＜0.6 KPa（差壓傳感器）
    預(yù)熱時(shí)間 忽略不計(jì)
    機(jī)械部件 材質(zhì) 不銹鋼
    工藝連接 1.125 C-seal
    密封材質(zhì) 金屬密封、氟橡膠等
    防護(hù)等級（外殼） IP40
    電氣特性 電源 ±15VDC、24VDC
    數(shù)字輸出 Modbus協(xié)議（RS232/485 ）、Profibus協(xié)議、EtherCAT協(xié)議、 Profinet協(xié)議
    電氣連接 DB9孔、RJ11



    四、產(chǎn)品尺寸圖




    五、可選配套測控軟件 （另外收取費(fèi)用）

            質(zhì)量流量測控系統(tǒng)V5.0




  • ACU20P壓力控制器 選型表                    （添加  11048 69159 、29145 69088 或    186 1279 0707  、186 1279 0733 幫您選型）


    系列號
    		 ACU20P 
    產(chǎn)品類型 【C】壓力控制器             【M】壓力計(jì)
    壓力類型 【A】絕壓                       【G】表壓
    耐壓范圍 【M】3MPa                     【Z】10MPa（僅限壓力計(jì)）
    現(xiàn)場顯示狀況 【N】不帶液晶顯示          【X】帶液晶顯示
    壓力范圍

    【300K】300KPa        【500K】500KPa 

    被測介質(zhì) 詳見密度參照表
    流量輸入信號 【A1】0~5VDC               【A2】4~20mA            【A3】1~5VDC
    輸出信號 【B1】0~5VDC               【B2】4~20mA            【B3】1~5VDC
    供電電壓 【5】±15VDC                 【4】24VDC
    通訊方式 【8】RS485                    【2】RS232                 【P】profibus
    密封材質(zhì) 【V】氟橡膠                   【T】丁腈橡膠             【N】氯丁橡膠              【Y】其他
    使用接頭 【A】φ3                         【B】φ6                      【F】1/8"                     【G】1/4"                 【Y】其他與廠家聯(lián)系
    選型舉例 ACU20P    M    A    M    N    100K    007    A1    B1    5    8    V    E